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現(xiàn)貨供應 ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 通過高溫領域的泵體均熱化,實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。
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現(xiàn)貨供應 ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵
現(xiàn)貨供應 ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵
特點
高溫區(qū)域均熱化
實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構,非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉狀態(tài)相關的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信,則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
規(guī)格
型號 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |||||||
使用泵 | 干式真空泵 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | ||||||
機械增壓泵 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||
最大 排氣速度 | 50Hz | m3/h (L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | |||||
60Hz | m3/h (L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | ||||||
到達壓力 | Pa | 5 | 0.67 | |||||||||
最大排氣壓力 (吸入圧力) | 大氣壓 *1 | |||||||||||
最大排氣壓力 (吸入圧力) | Pa | 1~ 大氣壓 | ||||||||||
吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
排氣口 | KF40 | |||||||||||
質(zhì)量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | ||||||
電源 | 三相 | VAC (Hz) | 200(50/60), 220(60) | |||||||||
電流值 | 穩(wěn)定時 | A | 7.1 (at 200V) | 11.2 (at 200V) | 7.8 (at 200V) | 12.9 (at 200V) | 15.4 (at 200V) | |||||
最大值 | A | 7.3 (at 200V) | 11.8 (at 200V) | 8.1 (at 200V) | 13.8 (at 200V) | 18.9 (at 200V) | ||||||
冷卻水一次圧力 | MPa | 0.1~0.3 | ||||||||||
冷卻水出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||||||
冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||||||
吹掃氣 | 一次壓力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||||
二次壓力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||||
N2吹掃 | 軸 | SLM | 5 | |||||||||
氣鎮(zhèn) | SLM | 0~45 |
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